Eine brauchbare Einteilung oder Standardisierung von Reinheitsparametern für nachfolgende Bearbeitungsprozesse der gereinigten Teile ist nicht möglich. Üblicherweise werden jedoch oft allgemeine Messwerte auf der Grundlage der Gesamtrestverunreinigung in mg/m² angewendet.

Endreinigung  < 500 mg Gesamtverschmutzung/m²

Präzisionsreinigung < 50 mg Gesamtverschmutzung/m²

Feinstreinigung < 5 mg Gesamtverschmutzung/m²

Die heute meist verwendeten Reinigungskriterien basieren auf den Anforderungen der nachgeschalteten Prozesse, wie etwa das Haften von Farbanstrichen oder die Verwendung in der Elektronikindustrie. In jüngerer Zeit hat die Automobilindustrie spezielle Anforderungen für gereinigte Oberflächen mit besonderem Augenmerk auf Partikel festgelegt (VDA 19).